断熱素材を使用した半導体装置の排気配管向けヒータです。
～400℃   
 高温仕様はご相談ください。

半導体装置の原料ガス供給配管向けヒータです。
～200℃
細く複雑な配管に対しても従来のジャケットヒータより密着性が高く、取り付けが容易です。

加熱を必要としない部分を保温する、ガラス繊維などの断熱素材を使用した保温材です。

熱伝導性の高いアルミ製のブロックを細径配管とヒータの間に設置することで均熱に効果を発揮します。 弊社独自形状のアルミ押出材を使用しており、付属のクリップで取り付けも容易です。 アルミ押出材の内径ラインナップは1/4、3/8、1/2配管用をご用意しております。

ヒータの付属品として温度センサや温度コントローラーユニットなどの取り扱いもございます。